65.5 高真空控制擺閥可提供高度可控的流導譜。由于其平穩的打開和關閉運動，粒子數和粒子生成水平極低，這也是其主要特點。

該閥門專為嚴苛工藝設計，例如半導體生產過程中的腐蝕性刻蝕和清潔應用，在這些應用中，當初始可控流導較低時，需要高度可控的流導譜。

65.5 高真空控制擺閥的 DN 為 250 mm (10")，可將最小流導控制為僅有 2 ls-1。由于 32 位驅動器控制器的數據處理能力出色，可將流導增加控制到非常精細的程度。此外，還可提供更快的驅動，因為相較于等效的 16 位控制器，傳感器和控制命令的處理速度更快。控制器上的各種標準端口連接器可通過個人計算機或連接到過程控制單元輕松訪問。

鐘擺閥板機構采用極其堅固的設計，確保其能夠抵抗任 何工藝副產品。為減少密封磨損并避免粒子產生及生成，打開和關閉運動是分開的。通過遠離閥座的垂直運動實 現第一級流導，然后通過在水平運動中移動鐘擺閥板來 增加流導。由于閥板運動可控性佳，預設的運動順序可根據工藝要求進行精確調整。為確保密封關閉，通過的特殊壓桿將閥板壓在閥座上。這樣可確保閥板所有 區域的密封壓力均勻分布。

憑借緊湊的設計和直接安裝選項以及各種其他設計選項，65.5 系列易于集成到各種真空流程中。

65.5 高真空控制擺閥采用鋁或硬質陽極氧化鋁，帶有 ISO-F 和 JIS 標準法蘭連接器。可集成客戶指定法蘭，也可作為加熱器，用于工作溫度高達 120℃ 的閥門。

1. 閥門
2. 驅動器軸
3. 雙軸驅動器
4. 驅動器饋通密封
5. 閘封